上交所上市审核委员会发布审议会议公告，将于11月14日审议科创板IPO企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（简称“恒运昌”）的发行上市申请。

恒运昌科创板IPO于2025年6月13日获得受理，2025年7月6日，公司收到首轮问询函，将于2025年11月14日上会。

招股书显示，公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、各种配件的研发、生产、销售及技术服务，并引进真空获得和流体控制等相关的核心零部件，围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案。

等离子体射频电源系统是半导体设备零部件国产化最难关卡之一，技术壁垒高、研发投入大、研发周期长、生产的“精确复制”要求极高，因而国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，属于被“卡脖子”最严重的环节之一。 公司聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年，先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。公司自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。与此同时，国内主要晶圆厂被美国商务部列入实体清单后，无法向原海外设备供应商采购备件或申请维修服务，公司为此承接了进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修的业务。

半导体设备及零部件行业具有“精确复制”的要求，以保障晶圆厂在产能快速扩张下的芯片品质，因此等离子体射频电源系统的量产必须确保高度稳定和可重复的生产工艺，并且需经过精密的校准和严格的测试流程，以保证性能的一致性和长期稳定性。在此严苛要求下，公司已具备成熟的规模化量产能力，公司产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。截至2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。

等离子体射频电源系统的自主可控对我国半导体产业供应链安全具有重要意义。公司承担了国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题，包括国家科技重大专项A课题、国家科技重大专项B课题、国家科技重大专项C课题，助力提高我国半导体产业的供应链韧性和安全水平。

截至报告期末，公司拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项。公司是国家高新技术企业、中国集成电路零部件创新联盟理事单位、国家专精特新重点“小巨人”、国家专精特新“小巨人”、“科创中国”射频开关电源创新基地、广东省2024年制造业单项冠军、广东省射频开关电源工程技术研究中心，并获得第六届中国集成电路创新联盟“IC创新奖”、广东省真空科技进步一等奖、2024年“湾芯奖”之“核心零部件创新奖”、中芯国际“零部件模组战略供应商”、拓荆科技“超卓伙伴奖”和“最佳交付奖”、微导纳米“最佳合作奖”等荣誉。

公司主营业务收入包括自研产品、引进产品和技术服务收入，公司报告期内主营业务分类收入及占比情况如下：

此次IPO，恒运昌拟募资14.69亿元，主要运用在沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目、半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目 、研发与前沿技术创新中心项目、营销及技术支持中心项目、补充流动资金 。

报告期内，发行人营业收入分别为1.58亿元、3.25亿元、5.41亿元、3.04亿元，对应归母净利润分别为2618.79万元、7982.73万元、1.42亿元、6934.76万元。

公司选择适用《科创板上市规则》第2.1.2条第一款，即“预计市值不低于人民币10亿元，最近两年净利润均为正且累计净利润不低于人民币5,000万元，或者预计市值不低于人民币10亿元，最近一年净利润为正且营业收入不低于人民币1亿元”。

2023-2024年，公司的营业收入分别为32,526.85万元、54,079.03万元，最近一年收入超过1亿元，归属母公司股东的净利润（扣非前后孰低值）分别为6,853.38万元、12,897.09万元，累计净利润为19,750.47万元，不低于人民币5,000万元。

公司最近一次市场化融资完成于2023年12月，投后估值为32.92亿元，预计发行后总市值不低于10亿元，能够满足《科创板上市规则》第2.1.2条第一款标准中的市值标准。