文|青茶
前言
在半导体材料领域,半绝缘碳化硅是名副其实的“战略基石”,是顶尖科技的核心材料。
过去数十年间,这项关键材料的制备技术,被美国牢牢掌控,Wolfspeed等巨头垄断全球市场,并长期对华实施严格禁运,让中国相关产业发展处处受制。
直到2025年,山东大学徐现刚团队,攻克8-12英寸籽晶扩径与零螺位错制备技术,实现半绝缘碳化硅材料自主量产。
从实验室里的千次尝试到生产线的稳定输出,从被国外专家嘲讽“连炉子都不会烧”到成为全球产能占比超50%的产业强国,这一突破不仅打破了美国的长期封锁,更让中国在宽禁带半导体材料领域从“跟跑”跃升至“领跑”。
美国技术垄断下的产业困境
半绝缘碳化硅的战略价值,从一开始就决定了它成为国际技术封锁的焦点。
这种材料的独特性能,使其成为现代高科技产业不可或缺的核心支撑,在先进雷达中,它能让探测距离提升3倍;在新能源汽车里,它可将充电时间缩短至1/3,续航提升20%;在AI服务器中,它能让芯片工作温度降低15-20℃,破解算力密度提升带来的散热难题。
正因为如此,美国将半绝缘碳化硅列为关键战略材料,从技术、产能、贸易三个维度构建起严密的封锁体系。
早在上世纪90年代,美国就开始限制半绝缘碳化硅相关技术对华输出,禁止核心设备、工艺参数和高端产品出口。
当时,全球80%以上的半绝缘碳化硅衬底市场被美国垄断,其6英寸衬底长期占据行业主导地位,而中国企业既无法获得高端产品,也难以引进先进技术。
国内相关产业只能依赖少量低端进口产品,或采用替代材料,导致我国先进雷达、高端功率器件等领域的发展严重滞后。
在国防领域,半绝缘碳化硅是相控阵雷达的核心材料,直接影响武器装备的探测精度和作战半径。
由于缺乏自主供应的高质量半绝缘碳化硅,我国早期相控阵雷达只能采用硅基或砷化镓材料,在探测距离、抗干扰能力等关键指标上与国际先进水平存在差距。
而美国凭借技术垄断,其军用雷达性能长期领先,形成了明显的装备代差。
更令人无奈的是,美国不仅封锁技术和产品,还对相关人才流动设置障碍。
2000年前后,我国在宽禁带半导体领域的科研力量薄弱,徐现刚等少数海外归国科学家成为破局希望,但他们回国初期面临的是“长不出、长不好、难加工”的三重困境。
国外企业对核心工艺严格保密,连晶体生长设备的关键参数都不予公开,国内科研团队只能从零开始,自主设计研发设备和工艺。
当时,有国外专家公开嘲讽中国团队“连炉子都不会烧”,断言中国短期内不可能攻克半绝缘碳化硅制备技术。
2020年后,面对中国在半导体领域的快速追赶,美国进一步收紧出口管制,将8英寸及以上大尺寸半绝缘碳化硅衬底纳入禁运清单,并通过“芯片四方联盟”施压盟友,禁止向中国转让相关技术。
这一举措试图从源头切断中国高端半绝缘碳化硅的获取渠道,遏制中国新能源、5G、人工智能等战略性新兴产业的发展。
但恰恰是这种极限封锁,倒逼中国走上了自主创新之路。
国家将宽禁带半导体材料纳入重大科技专项,山东大学、中科院等科研机构与企业协同攻关,形成了“产学研用”一体化的创新体系。
从2000年徐现刚团队回国创业,到2014年首次实现高纯半绝缘衬底技术突破,再到2025年实现规模化量产,中国用25年时间打破了美国数十年的垄断。
这场封锁与反封锁的较量,最终以中国的技术突围告终,也证明了核心技术买不来、讨不来,唯有自主创新才是唯一出路。
徐现刚团队的二十年铸“晶”之路
半绝缘碳化硅的制备,被誉为半导体材料领域的“珠穆朗玛峰”。
其核心难点在于晶体生长过程中对温度、压力、气体组分的精准控制,以及缺陷密度的严格把控,微管、螺位错等缺陷的存在,会直接影响材料的电学性能和可靠性。
而要实现“零螺位错”,更是对工艺水平的极致考验。山东大学徐现刚团队用二十年光阴,攻克了这一系列技术难题,书写了科研报国的动人篇章。
1982年,徐现刚考入山东大学物理系,师从晶体材料学家蒋民华院士,从此与半导体材料结下不解之缘。
“科研要瞄准国家急需”,蒋院士的这句话,成为他一生的科研信条。
1995年起,徐现刚先后赴德国、加拿大、美国深造,在海外期间,他攻克了困扰研究所多年的半导体薄膜生长难题,深度参与半导体产业化进程,但始终心系祖国。
2000年,面对国内宽禁带半导体材料的空白,他毅然放弃国外高薪厚禄,举家回国,在山东大学一间简陋的实验室里,开启了半绝缘碳化硅的攻坚之路。
回国初期,团队面临的困难超乎想象。没有先进的生长设备,他们就自主设计研发;没有成熟的工艺参数,他们就从最基础的理论研究做起。
徐现刚在实验室墙上写下“破局”二字,以此激励团队成员。
当时,国内连合格的晶体生长炉都没有,徐现刚向学校借款购买设备,带领团队一点点改进;国外对核心技术严格保密,他们就通过大量实验,摸索晶体生长的规律。
单晶炉全年365天持续运行,春节期间即使团队成员放假回家,徐现刚也坚守一线,不放过实验过程的每一丝变化。
2014年4月15日,是值得铭记的一天。经过上千次实验,团队终于生长出高质量的高纯半绝缘碳化硅晶体,实验记录上首次写上了“成功”二字。
这次突破,实现了国内高纯半绝缘衬底技术的零的突破,打破了国外的技术垄断。
但团队并未止步,而是向更大尺寸、更低缺陷密度的目标迈进。
为了突破8-12英寸籽晶扩径技术,团队又花费了十年时间。
2025年,团队成功研制出8英寸零螺位错导电型碳化硅衬底,并实现12英寸衬底的技术突破,标志着中国在半绝缘碳化硅领域达到全球领先水平。
在攻克技术难题的同时,徐现刚团队还构建起完善的专利保护体系。他们申请了百余项核心专利,形成了严密的“技术护城河”,避免了国外企业的专利壁垒。
更重要的是,团队注重成果转化,将近二十项碳化硅专利转让给企业,支撑孵化出天岳先进、南砂晶圆等行业龙头企业,其中天岳先进成为国内碳化硅领域唯一上市公司。
这些企业的崛起,让中国碳化硅衬底产能跃居全球前列,2025年全球碳化硅晶圆有效产能达390万片,中国企业占比超50%。
20年来,徐现刚指导的50余名博士生中,4人成长为国家级人才,18人成为高校教授,25人成长为企业技术骨干。
几乎国内所有碳化硅半绝缘衬底领先企业的先导技术及领军人才,都具有“山大基因”。这支专业人才队伍,成为中国碳化硅产业持续发展的核心力量,为技术迭代和产业升级提供了坚实保障。
从2000年的白手起家,到2025年的全球领跑,徐现刚团队用二十年时间,完成了从“追光者”到“破局者”的蜕变。
他们的成功,不仅在于攻克了一项项技术难题,更在于构建了“理论-技术-装备-产业化”的完整创新链条,为中国半导体材料产业的自主可控奠定了坚实基础。
结语
从被国外封锁禁运到实现全球领跑,中国半绝缘碳化硅的发展历程,是中国科技自主创新的生动缩影。
山东大学徐现刚团队用二十年坚守,攻克了8-12英寸籽晶扩径与零螺位错制备技术,打破了美国数十年的技术垄断。
2025年,国产半绝缘碳化硅实现规模化量产,不仅为我国先进雷达、新能源汽车、5G通信等战略性新兴产业提供了核心支撑,更让中国在宽禁带半导体材料领域掌握了话语权。
核心技术的突破永远没有终点。
面对全球科技竞争的新形势,中国半导体材料产业还需持续加大研发投入,优化产业生态,培养更多高端人才,在更多“卡脖子”领域实现突破。
相信在科研工作者、企业和国家的共同努力下,中国半导体产业将不断实现新的跨越,为国家科技安全和经济高质量发展注入源源不断的动力。